微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS）是將微電子技術(shù)與精密機(jī)械技術(shù)深度融合的前沿工程技術(shù)。它通過(guò)在硅基或其他半導(dǎo)體材料上集成微型傳感器、執(zhí)行器及機(jī)械結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了傳統(tǒng)宏觀機(jī)械系統(tǒng)難以企及的微型化、智能化和高精度特性。

在自動(dòng)識(shí)別技術(shù)領(lǐng)域，MEMS技術(shù)的應(yīng)用尤為廣泛。例如，MEMS加速度計(jì)和陀螺儀已成為智能手機(jī)、無(wú)人機(jī)和自動(dòng)駕駛系統(tǒng)中姿態(tài)識(shí)別與運(yùn)動(dòng)追蹤的核心組件。這些微型傳感器能夠?qū)崟r(shí)捕捉設(shè)備的加速度和角速度變化，為自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng)提供精確的物理運(yùn)動(dòng)數(shù)據(jù)。

MEMS麥克風(fēng)通過(guò)其高靈敏度和小型化優(yōu)勢(shì)，在語(yǔ)音識(shí)別和聲紋識(shí)別系統(tǒng)中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。在光學(xué)識(shí)別方面，MEMS微鏡陣列被用于激光雷達(dá)（LiDAR）和光譜分析儀，實(shí)現(xiàn)對(duì)物體形狀、距離和化學(xué)成分的非接觸式自動(dòng)識(shí)別。

MEMS技術(shù)的持續(xù)創(chuàng)新正推動(dòng)自動(dòng)識(shí)別技術(shù)向更高精度、更低功耗和更小體積方向發(fā)展。隨著5G通信、物聯(lián)網(wǎng)和人工智能的普及，MEMS與自動(dòng)識(shí)別技術(shù)的結(jié)合將在智能醫(yī)療、工業(yè)自動(dòng)化、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域展現(xiàn)出更廣闊的應(yīng)用前景。